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柔性线路板膜厚仪 XTU系列测厚仪虽然结构紧凑，但是都有大容量的开槽设计样品腔，即使超过样品腔尺寸的工件也可以测试。 搭配微聚焦射线管和*的光路设计，以及变焦算法装置，可测试极微小和异形样品。 检测78种元素镀层·0.005um检出限·小测量面积0.002mm2·深凹槽可达90mm。 外置的高精密微型滑轨，可以快速控制样品移动，移动精度0.005mm，速度10-30mm（X-Y）/圈，